Keramische Sensorik
Unsere keramischen Sensorelemente für Temperatur, Gase und Strömungen bestehen aus
- keramischem Trägersubstrat (Al2O3) mit mikrostrukturierter Platin-Dünnschicht, abgedeckt mit einer Passivierungsschicht,
- Anschlussdrähten bzw. SMD-Kontakten,
- spezifischen Schichten für die Arretierung
- sowie bei
Gassensorelementen 1-3 gassensitive/n Metalloxid(MOX)-Halbleiterschicht/en.
Ein weitgehend adäquater Aufbau sowie weitgehend adäquate Designelemente und Materialien unserer keramischen Temperatur- und Gassensorelemente ermöglichen deren weitgehend adäquate technologische Prozessierung auf einheitlichen Anlagen.
Innovative Basis ist eine einheitliche und skalierbare
Technologieplattform für keramische Sensorelemente
zur effizienten Herstellung von kundenspezifischen Platin-Dünnschicht-Temperatursensorelementen, MOX-Gassensorelementen etc. in hoher Qualität in Kleinst- bis Großserien.
Beginnend mit innovativen Substrat(Wafer)-Prozessen zur Mikrostrukturierung von einigen hundert bis zu mehreren tausend Sensorelementen pro Keramiksubstrat, erfolgt eine weitgehend einheitliche, durchgängige Prozessierung der Chips bis zu den fertigen Sensorelementen.
Wesentliche Komponenten der Technologieplattform:
- Modulares und skalierbares Funktions-/ Strukturelementesystem für die Platin-Mikrostrukturierung der Sensorelemente (Elektroden, Widerstands-/ Heizermäander, Kontakte etc.)
- Validierbare Ausgangsmaterialien u.a. Keramiksubstrate/ -wafer (Al2O3), Platin, Spezialgläser für Passivierungs-, Isolations- und Arretierungsschichten, Kontaktmaterialien, Anschlussdrähte, Materialien für MOX-Schichten etc.
- Validierbare technologische Verfahrensschritte u.a. für Schichtauftragung (Bedampfen, Sputtern, Siebdruck etc.), Mikrostrukturierung (per Photolithographie und/oder Laser), thermische Behandlung, Kontaktierung, Arretierung, Vereinzelung und Prüfungen in den Chip-/ Elementeprozessen etc.
- Durchgängige, prozesssichere Anlagen- und Verfahrenstechnik von der Schichtauftragung/ Platin-Mikrostrukturierung der Keramiksubstrate/ -wafer bis zur vollautomatisierten Montage/ Prüfung/ Magazinierung von Sensorelementen.
Alle Prozesse entsprechend IATF 16949:2016 (Qualitätsmanagement) und DIN EN ISO 14001:2015 (Umweltmanagement). ...